◆　展区设置

半导体核心设备展区：单晶炉、气相外延炉、氧化炉、磁控溅射台、化学机械抛光机、光刻机、离子注入机.引线键合机、晶圆划片机、晶圆减薄机

核心部件展区：

机械类:反应腔、传输腔、过渡腔、内衬、匀气盘等金属结构;托盘、底座、冷却板、铸钢平台等;石英、陶瓷件、静电卡盘、橡胶密封件、硅部件等

气体 / 液体/ 真空供给类：气柜、气体管路、管路焊接件等分子泵、干泵、真空阀门等阀门、接头、过滤器、液体管路等

电气类:射频电源与匹配器、远程等离子源、供电系统、工控电脑等

电一体类:EFEM、机械手、加热带、腔体 /阀体、模组、侵液温控系统、双工机台等